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電子システムインテグレーション領域福本研究室

教授 福本 信次
助教 松嶋 道也

電子デバイス、マイクロマシン、極微センサなどの微細システム創成に必要 な機能設計から、微細加工プロセス、実装プロセス、知的センシング・制御、 更には評価・信頼性に至るまで電子システムのインテグレーションを目指した 教育・研究を行っています。



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