電子
プロープマイクロアナライザ JXA-8700(日本電子製)
電子線を試料表面に照射し、その部分から発生する特性X線の波長や強度などを測定して、微少部分を構成する元素の定性・定量分析を非破壊で行う装置です。
(
仕様)
加速電圧
0.2〜40kV
分析元素
5B〜92U