X線光電子分光装置 ESCA-850(島津製作所製)

 軟X線照射によって物質表面から放出する光電子の結合エネルギーを測定し、物質の極表面層(10〜 100Å)の組成元素やその結合状態を知る装置です。ESCAはX線を励起源としているため、非破壊性の高い分析法であり、有機物、絶縁物を含む固体表面の分析に適用できます。
(仕様)
結合エネルギ走査範囲 Mg 0〜1150eV
試料エッチング カウフマン型高速イオンエッチング銃