走査電子顕微鏡  S-2700S(日立製作所製)
 本装置にはフィリップス製EDAX DX-4のエネルギ分散型X線分析装置を備えており、特性X線により元素分析が行えます。
(仕様)
分解能(2次電子像) 4nm
分析元素 6C〜92U