＜研究設備の紹介＞

福本研では，以下のような汎用～独自の研究設備を駆使しながら，微細接合技術，異種材料接合技術の研究開発に取り組んでいます．

■接合

  • ダイボンダ
  • 加圧・加熱装置
  • ゴールドイメージ炉
  • ソルダリングロボット


■特性評価

  • 示差走査熱量計（DSC)
  • フーリエ変換赤外分光装置（FT-IR）
  • 熱伝導測定装置
  • IN-Situ SEM/FIB内ナノメカニカル評価装置
  • 電気抵抗測定装置
  • 強度試験機
  • 温度サイクル・パワーサイクル試験機
  • 恒温恒湿炉


■観察・分析

  • 電界放射型走査電子顕微鏡（EBSD+EDS）
  • 電界放射型透過型電子顕微鏡 (FE-(S)TEM/EDS)
  • メゾ・マイクロスケール異材接合部観察・分析装置（FIB-SEM/EBSD+EDS)


■ソフトウェア

  • 有限要素法解析ソフトウェア(ANSYS)
  • 画像解析ソフトウェア (AVIZO)