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 電子デバイス,マイクロマシン,極微センサなどの微細システム創成に必要 な機能設計から,微細加工プロセス,実装プロセス,知的センシング・制御, 更には評価・信頼性に至るまで電子システムのインテグレーションを目指した 教育・研究を行っています.
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