講座紹介

電子デバイス，マイクロマシン，極微センサなどの微細システム創成に必要 な機能設計から，微細加工プロセス，実装プロセス，知的センシング・制御， 更には評価・信頼性に至るまで電子システムのインテグレーションを目指した 教育・研究を行っています． 　研究設備の紹介 　アルバム(関係者限定)

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